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燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的Z用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。

為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟（潤(rùn)滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行J確的控制。

低孔隙度是高質(zhì)量硬質(zhì)合金的重要標(biāo)志，氣體壓力燒結(jié)能有效消除硬質(zhì)合金孔隙度，達(dá)到真空、氫氣燒結(jié)爐無(wú)法達(dá)到的效果。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，硬質(zhì)合金生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步，燒結(jié)爐已經(jīng)成為高質(zhì)量硬質(zhì)合金燒結(jié)的一種主導(dǎo)技術(shù)。在硬質(zhì)合金生產(chǎn)工藝中，燒結(jié)是決定硬質(zhì)合金結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)鍵工序。壓力燒結(jié)爐是生產(chǎn)高性能硬質(zhì)合金的關(guān)鍵設(shè)備，經(jīng)壓力燒結(jié)的硬質(zhì)合金制品，具有極優(yōu)良的組織結(jié)構(gòu)，無(wú)論是制品的強(qiáng)度，還是產(chǎn)品的硬度和密度，均有相應(yīng)的提高。

如圖1所示，硬質(zhì)合金壓力燒結(jié)工藝流程為：將裝好壓坯的舟皿放入爐內(nèi)，關(guān)好爐門(mén)，壓力燒結(jié)爐自動(dòng)進(jìn)行微正壓檢漏和真空檢漏。檢漏測(cè)試通過(guò)后，爐內(nèi)抽真空至設(shè)定的真空度，并按設(shè)定的工藝曲線加熱升溫。成型劑石蠟隨溫度升高逐漸逸出，石蠟蒸汽被抽入捕蠟系統(tǒng)，石蠟在捕蠟器中被回收。脫蠟過(guò)程結(jié)束后，繼續(xù)加熱升溫進(jìn)入脫氧預(yù)燒及燒結(jié)階段。在燒結(jié)階段后期，關(guān)閉主真空擋板閥，爐內(nèi)通入5MPa壓力的氬氣并保溫一段時(shí)間，對(duì)燒結(jié)體進(jìn)行壓力燒結(jié)以消除合金孔隙、裂紋等缺陷。壓力燒結(jié)結(jié)束后，切斷加熱電源，讓爐子自然冷卻到50-80℃卸壓出爐。

壓力燒結(jié)爐爐內(nèi)氣體排出路線如下：

1、開(kāi)爐、預(yù)燒及燒結(jié)階段 　　爐膛（脫蠟閥關(guān)閉）→主真空擋板閥→主真空管→真空機(jī)組

2、脫蠟階段 　　爐膛（主真空擋板閥關(guān)閉）→脫蠟閥→脫蠟管→捕蠟器（蠟蒸汽在此被回收）→真空機(jī)組